J4  2007, Vol. 18 Issue (21): 0-2527    
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光刻机主基板的动态特性分析及优化
陈学东1;郭合忠1;严天宏2;余显忠1
Dynamics Analysis of the Main-plate of Stepping-scanning Lithography and Optimization
Chen Xuedong1;Guo Hezhong1;Yan Tianhong2;Yu Xianzhong1
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